產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置:首頁
產(chǎn)品中心
實驗室儀器
實驗室清洗機
YSP63FA等離子清洗機

產(chǎn)品型號:YSP63FA
更新時間:2025-10-26
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2249
服務(wù)熱線400-892-6117 021-31268583 021-57631797
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產(chǎn)品特點:
可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制。
操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
軟性基板也可以進行傳送操作。
傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
可通過網(wǎng)絡(luò)進行遠程操作(選購品)。
提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
清洗各類基板。
電子部品、材料表面改質(zhì)。
更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產(chǎn)品參數(shù):
型號 | YSP63FA |
模式 | RIE(DP模式選購) |
高頻輸功率 | 600W |
反應(yīng)臺尺寸 | W385×D362mm |
內(nèi)腔尺寸 | W395×D378×H45mm(內(nèi)尺寸) |
反應(yīng)氣體 | 2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣) |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式真空泵(約500L/min) |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
其它同類產(chǎn)品如下:
雅馬拓YSP600U等離子清洗儀器:
產(chǎn)品特點:
樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式,便于組合。
體積小,節(jié)省空間。
選用小型腔體,反應(yīng)效率高。
更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
配備冷卻反應(yīng)臺。

技術(shù)參數(shù):
型號 | YSP600U | YSP2KU |
模式 | RIE(DP模式選購) | |
高頻輸功率 | 600W | 2000W |
反應(yīng)臺尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
反應(yīng)氣體 | 2進氣系統(tǒng)(氧氣、氬氣) | |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 | |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 | |
掃碼加微信
Copyright © 2025上海熙浩實業(yè)有限公司 All Rights Reserved 工信部備案號:滬ICP備11017316號-2
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) 管理登錄 sitemap.xml